Vorteile der Trockenätzung mit einer gepulsten Stromversorgung?

Was sind die Vorteile des Impulsmodus gegenüber dem kontinuierlichen Wellenleistungmodus? Was sind gepulste und kontinuierliche Wellenleistung Modi?

Wie in der obigen Abbildung gezeigt, ist die erste CW, kontinuierliche Welle. Continuous Wave (CW) bezieht sich auf eine Wellenform, die zeitlich kontinuierlich und konstant ist, mit konstanter Kraft und Intensität. Es erscheint typischerweise als Einzelfrequenzsignal mit einem schmalen Spektrum und einem stabilen Ausgang. Die durchschnittliche Leistung des CW entspricht der Spitzenleistung, und die Signaleigenschaften sind einfach und leicht zu kontrollieren. Der Hauptvorteil von CW ist die hohe Stabilität, die es ideal für Anwendungen macht, bei denen die Signalkontinuität kritisch ist. Gleichzeitig hat das CW -Signal einen geringen Rauschpegel, was eine genaue Messung und Analyse erleichtert. Darüber hinaus ist das CW -Systemdesign relativ einfach, und Steuerparameter wie Leistung und Frequenz können leicht eingestellt werden. Im CW -Modus ist die Leistung eine kontinuierliche Wellenform ohne abgehackte Impulse.

0040-31980 Gasbox EC WXZ

Der zweite ist PW, gepulste Kraft. Eine Pulswelle ist eine Wellenform, die zeitlich unterbrochen wird und aus einer Reihe von Signalen mit hoher Intensität über einen kurzen Zeitraum besteht. Die Impulse sind von begrenzter Dauer und werden nach einem bestimmten Zeitraum wiederholt. Die Impulswelle hat die Eigenschaften der momentanen Spitzenleistung viel höher als die durchschnittliche Leistung, und das Ausgangsspektrum ist breit und enthält mehr Frequenzkomponenten. Der größte Vorteil der Pulswelle ist die momentane hohe Spitzenleistung, die in kurzer Zeit extrem hohe Energie freisetzen kann. Darüber hinaus ist die durchschnittliche Leistung der Impulswelle aufgrund der intermittierenden Ausgabe des Signals niedrig, was den Wärmelastdruck der Ausrüstung effektiv reduziert. Infolgedessen ist es ideal für Anwendungen, die eine hohe zeitliche Auflösung oder eine sofortige hohe Leistung erfordern. Im PW -Modus ist die Ausgangsleistung des Netzteils ein Teil der Zeit und Teil der Zeit.

0040-09095 Gasbox, WCVD
Merkmale von gepulsten Netzteilen?
1, das Intervallwerk kann die Wärme in der Zeit auflösen, so dass die Reaktanten Zeit haben, auf die Oberfläche des Wafers zu transportieren.

2, die Ausgangsleistung kann in sehr großem Maße erhöht werden, die Dauer ist extrem kurz und die Impulsleistung, die Frequenz, die Zeit usw. kann sehr genau gesteuert werden.
Vorteile der Verwendung des Pulsmodus?
1, eliminieren Sie Mikroload -Effekte. Bei strukturellen Ätzen mit hohen Seitenverhältnissen wie tiefen Löchern oder tiefen Rillen. Kleinere Löcher oder Slots haben eine kleinere Ätzrate als Löcher oder Slots größerer Größe. Wenn der CW -Modus verwendet wird, kann der Mikroload -Effekt verbessert werden, indem der Druck reduziert und die Verzerrungsspannung erhöht wird. Die Verbesserungsfähigkeit ist jedoch begrenzt, während der Mikroload -Effekt durch die Verwendung des Impulsmodus erheblich verbessert werden kann.

2, reduziert Waferoberflächenschäden. Wenn Impulse für eine Vorspannungsversorgung verwendet werden, kann die Zeit, die das Plasma zum Angriff auf den Wafer benötigt, reduziert werden, was wiederum die Oberflächenschäden verringert.