Faktoren, die Filmstress in Pecvd beeinflussen

Was sind die Faktoren, die den Stress von PECVD -Filmen beeinflussen? Was sind die Vor- und Nachteile von jedem?

Nehmen Sie sih 4+ nh3/n2, um Sinx -Dünnfilme zu bilden Diese Faktoren: Temperatur, Leistung/Druck, Gaszusammensetzung, Frequenz und der Gehalt des verdünnten Gases er.

Temperatur (SINX -Film)

Je höher die Temperatur, desto größer ist die Zugspannung.

0010-37264 Cooldown Chamber Multi Slot Ass'y

Kraft/Druck (SINX -Film)

Wie in der obigen Abbildung gezeigt, sind bei niedrigeren Drücken (400 mTorr) die Spannungen bei allen Leistungsbedingungen in Richtung Druckspannung voreingenommen. Mit zunehmendem Druck ändert sich die Druckspannung allmählich zu Zugspannung; Bei höheren Drücken (600-700 mtorr) neigen die Spannungen dazu, Spannungen zu erreichen. Die positiven und negativen Drücke im Diagramm stellen Zug- bzw. Zugspannungen dar. Typen und Proportionen von Gasen (Sion -Filme)

Wie in der obigen Abbildung gezeigt, ändert sich der Film mit zunehmendem Verhältnis von N2O/NH3 allmählich von Zugspannung zu Druckspannung. Niederfrequenzmodulation (SINX -Filme)

0040-22451 Sockel 150 mm Abklingzeit, 3 Punktkontakt

Wie in der obigen Abbildung gezeigt, ändert sich die Spannung des Films allmählich von der Zugspannung zu Druckspannung, wenn der Anteil der für die Ausgabe der Stromversorgung bei niedrigen Frequenzen aufgewendeten Zeitaufwand zunimmt. Der Inhalt des verdünnten Gas er

Wie in der obigen Abbildung gezeigt, wechselt der Anteil des verdünnten Gass allmählich die Spannung des Films allmählich von Zugspannung zu Druckspannung. Daher muss die Anpassung des Filmprozesses häufig auf einen optimalen Wert angepasst werden, und alle zu großen oder zu kleinen Prozessparameter führen zu unvollständiger Filmqualität.

 

ENDE