Welche Auswirkung hat die Waferoberflächentemperatur auf das Trockenätzen?

Die Auswirkungen der Oberflächentemperatur auf das Trockenätzen umfassen hauptsächlich: Polymerabscheidung, Selektivität, Fotolackfluss, Produktflüchtigkeit und Ätzrate, Oberflächenmorphologie, Ätzen, Ätzen

Polymerablagerung: Während des Prozesses entstehende Polymere lagern sich auf der Oberfläche ab und beeinflussen die Ätzrate und Selektivität. Die Temperatur beeinflusst die Abscheidungsrate und Stabilität von Polymeren, wobei hohe Temperaturen die Abscheidungsschichten zersetzen oder verkleinern und niedrige Temperaturen die Polymerabscheidung verstärken.

0021-09835 R2Liner ist ein Ätzteil.
Selektivität: Die Selektivität von Ätzmaterialien und Maskierungsmaterialien ist sehr temperaturempfindlich. Zu hohe Temperaturen verringern die Ätzselektivität, da die Beschleunigung der Ätzrate mit der Ätzmaske zusammenfällt. Fotolack: Wenn der Fotolack bei hohen Temperaturen fließt, wird der Fotolack weicher, fließt und bildet sogar Blasen, was zu einer Verzerrung der Topographie führt.
Produktflüchtigkeit und Ätzrate: Die Temperatur beeinflusst die Flüchtigkeit von Nebenprodukten chemischer Reaktionen, und Nebenprodukte sind bei hohen Temperaturen flüchtiger, was zur Erhöhung der Ätzrate beiträgt. Niedrige Temperaturen hingegen führen zu Nebenproduktrückständen und verringern die Ätzeffizienz.
Ätztopographie: Die Ätztemperatur liegt nahe an der Glasübergangstemperatur (Tg) des Materials und die Oberflächentopographie ist gleichmäßig. Die Ätztemperatur ist viel niedriger als die Glasübergangstemperatur und die Oberflächenätzung ist ungleichmäßig und die Rauheit ist groß.