Welche Auswirkung hat der Kammerdruck auf das Ätzen?

Was ist dasEWirkung vonCHammelPDruck aufEJucken?

Wie wird der Kammerdruck reguliert? Welche Auswirkung hat das Ätzen auf die Ergebnisse?

Was ist Kammerdruck? Der Kammerdruck bezieht sich auf den Druck des Gases in der Prozesskammer der Ätzanlage, normalerweise gemessen in Torr oder Pascal.

o Was bestimmt den Kammerdruck?
1. Je höher der Gasfluss, desto höher der Druck.
2.Die Vakuumpumpe ist entlüftet und je höher die Pumpengeschwindigkeit, desto niedriger ist der Kammerdruck.

o Einfluss des Kammerdrucks auf das Ätzen
1. Ionenbeschussenergie. Niedriger Druck, große mittlere freie Weglänge der Moleküle, geringe Kollisionswahrscheinlichkeit der Ionen, geringere Energiedissipation, also hohe Energie.
2.Verhältnis von Ionen zu freien Radikalen. Bei niedrigem Druck ist der Ionenanteil hoch, was das physikalische Ätzen begünstigt. Bei hohem Druck begünstigt der hohe Anteil freier Radikale die chemische Ätzung.

Ätzeinheitlichkeit. Bei hohem Druck verringern hochfrequente Kollisionen die Gasströmungsgeschwindigkeit, und freie Radikale diffundieren leichter in alle Teile der Waferoberfläche, einschließlich des Randbereichs, und die Konzentration der der gesamten Waferoberfläche ausgesetzten Reaktanten wird gleichmäßig sein. und die Ätzrate wird tendenziell gleich sein.

Zusammenfassung
0020-24896 ABDECKRING 6" SST 101 AL

0020-28205 6" TI-ABDECKUNGSRING
Mit zunehmendem Kammerdruck wandelt sich die Ätzreaktion allmählich von physikalischem Ätzen zu physikalischem + chemischem Ätzen zu chemischem Ätzen.