Was ist die Konzentrationspolarisation in der Waferbeschichtung?

Als Beispiel werden die Metallionen in der Plattierungslösung reduziert und auf der Kathode (Wafer) reduziert und abgelagert, und die chemische Gleichung lautet:

Cu(2+) + 2e -->Cu (s)
Aufgrund der schnelleren Ablagerungsrate nimmt die Konzentration von Cu²⁺ in der Nähe der Waferoberfläche schnell ab, während die Konzentration im Bereich der Lösung vom Wafer hoch bleibt. Intensität .

0010-20351 6 Zoll DEGAS LAMP MODUL 350C PVD

Mit einem Wort: Konzentrationspolarisation bezieht

Warum müssen wir versuchen, die Konzentrationspolarisation zu verringern?
Die Konzentrationspolarisation kann verursachen:
1 Die Abscheidungsrate nimmt ab → Die Stromwirkungsgrad nimmt ab und der Strom wird bei Seitenreaktionen wie Wasserstoffentwicklung . verschwendet.

Die Beschichtung ist rau, Pinlöcher, die Beschichtung ist grau und dunkel usw. ., und die Additive können ihre fällige Rolle nicht spielen .

In einem Satz: Es ist schwierig für eine gute Frau, ohne Reis . zu kochen,
Wie kann man die Polarisation der Plattierkonzentration beseitigen?
1, drehen Sie den Wafer
2, starke Konvektion
3, um einen Zyklus umrühren