Was ist eine einzelne Flüssigkeitsdüse gegenüber einer Zwei-Fluid-Düse

Was ist aSIngleFluidNPauzle vs aTwofluidNPendel?

Was ist Düse?

0020-35326 Gaseinlassabdeckung

Düsen sind eine Schlüsselkomponente in der Nassverarbeitungsgeräte mit Halbleiter, mit der die Lösung in ein Sprühmuster dispergiert und auf die Oberfläche des Wafers zur chemischen Reaktion, Reinigung, Radierung und anderen Zwecken sprüht. Es ist normalerweise in zwei Typen unterteilt: Einzelfluid- und Zwei-Fluid-Düsen.

Was ist eine einzelne Flüssigkeitsdüse gegenüber einer Zwei-Fluid-Düse?

Einzelfluiddüsen: Es ist nur eine Flüssigkeit erforderlich, und der Sprüheffekt wird durch die Änderung der Düsenöffnung und des internen Designs gesteuert. 2. Fluiddüse: Der Sprüheffekt wird durch Mischen von zwei verschiedenen Flüssigkeiten (Flüssigmedizin und Stickstoff) erreicht.
Zweitens das Prinzip der flüssigen Düsen


Das Design der Zwei-Fluid-Düse ist unterschiedlich und das Design des Bildes wird hier erklärt.
Dieses Bild zeigt die Struktur von zwei Zwei-Fluid-Düsen, die äußere Mischdüse und die innere Mischdüse.
Externe Mischdüse: Die Flüssigkeit wird in der Mitte durch den flüssigen Kanal besprüht, und die Atomisierungsluft (normalerweise Druckluft oder Stickstoff) wird mit hoher Geschwindigkeit von mehreren Kanälen in der Peripherie mit hoher Geschwindigkeit gesprüht. Flüssigkeiten und Gase werden an der Außenseite der Düse gemischt, und der Luftstrom mit hoher Geschwindigkeit zerreißt den Strom in winzige Tröpfchen und erzeugt einen feinen, gleichmäßigen Zerstäubungseffekt, normalerweise in Form eines Lüfters oder eines konischen Sprays.
Die flüssigen und atomisierten Gase in der internen Mischdüse treffen sich in der Mischzone innerhalb der Düse und werden nach dem internen Mischen nur mit hoher Geschwindigkeit aus der Düse ausgeworfen. Da die Mischung bereits im eigenen Haus durchgeführt wird, sind die ausgestoßenen Tröpfchen kleiner und zermürben gleichmäßiger.

0200-01808 Einzelringkeramik 300mm Kerbe

Die Vorteile von zwei Flüssigkeiten gegenüber einzelnen Flüssigkeiten?
1. Low -Verbrauch der chemischen Lösung
2. Die mechanische Auswirkungen ist stark, es ist leicht, in die komplexe Struktur einzutreten, und die Entfernungseffizienz ist hoch

3. Die Tröpfchen sind ultralein