Was macht der Duschkopf von PECVD?

0020-30797 Duschkopf aus perforiertem Blech

0021-35869 DUSCHKOPF

 

Was macht der Duschkopf im PECVD-Verfahren??

Wie in der Abbildung oben gezeigt, passt der Duschkopf, auch Sprinklerkopf, Duschkopf usw. genannt, normalerweise genau auf den oberen Teil der Reaktionszone und fungiert als Gaseinlass, der das Reaktionsgas durch die kleinen Löcher gleichmäßig in die Kammer einspritzt auf seiner Oberfläche. Natürlich dient es nicht nur der Gasverteilung, einige sind auch als Teil der Elektrode konzipiert.
Funktion von Duschkopf?

Die Oberfläche des Duschkopfes ist mit dichten Poren bedeckt, und nachdem das Reaktionsgas eingeströmt ist, wird es gleichmäßig in mehrere Teile aufgeteilt und mit einer gleichmäßigen Strömungsgeschwindigkeit auf die Oberseite des Wafers übertragen, sodass das Reaktionsgas den gesamten Wafer gleichmäßig bedeckt Waferoberfläche, um eine gleichmäßigere Beschichtung zu erzeugen. Wenn der Duschkopf Teil der Elektrode ist, erzeugt die HF-Stromquelle auf seiner Oberfläche ein gleichmäßiges elektrisches Feld, das ein homogenes Plasma bilden kann.

Aus welchem ​​Metall wird im Allgemeinen ein Duschkopf hergestellt?

Am gebräuchlichsten ist Aluminium, das eine hohe Wärmeleitfähigkeit und Korrosionsbeständigkeit aufweist. Auch Quarz oder Keramik können zur Herstellung eines Duschkopfes verwendet werden.