Werden Folienwölbungen und -risse durch die gleiche Art von Belastung verursacht?

0010-21827 8" Schildbaugruppe

 

0021-35869 DUSCHKOPF

Welche Arten von Belastungen gibt es und welche Folienprobleme können durch unterschiedliche Belastungen verursacht werden?Arten von inneren Spannungen?

Es gibt viele Klassifizierungen innerer Spannungen, und wenn wir sie nach der Wirkung der Einwirkung unterteilen, können sie in Druckspannung und Zugspannung unterteilt werden.
Wie in der Abbildung oben gezeigt, ist die Druckspannung die Druckkraft der Filmschicht durch das Substrat, und die Filmschicht neigt dazu, zu schrumpfen; Die Zugspannung ist die Zugkraft der Filmschicht durch das Substrat, und der Film hat die Tendenz, sich auszudehnen.
Was sind die Ursachen für Folienwölbungen und Risse?

Wie in der obigen Abbildung gezeigt, wird durch die Wirkung von Druckspannung die Filmschicht durch Druckspannung zusammengedrückt, der Abstand zwischen Atomen oder Molekülen verringert sich, und wenn die Spannung zu groß ist, entscheiden sich die überforderten Moleküle oder Atome dafür, sich in andere Richtungen zu entwickeln. der sich makroskopisch als hügelartiger Vorsprung manifestiert.

Wie in der Abbildung oben gezeigt, wird der Film durch die Wirkung von Zugspannung gedehnt, der Abstand zwischen Atomen oder Molekülen vergrößert sich. Wenn die Spannung zu groß ist, können die Hohlräume zwischen Molekülen oder Atomen nicht ergänzt werden, was sich makroskopisch als manifestiert Risse im Film.
Welche weiteren Probleme kann innerer Stress verursachen?
Druckbeanspruchung: Waferverzug, Blasenbildung im Film usw
Zugbeanspruchung: Waferverzug, Folienablösung usw